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双芯模组C-V测试:TH511两个通道如何一次接好,一次出结果

2026-08-21

按通道配置、并行测试设置、列表扫描、常见故障排查的顺序,说明TH511双通道的操作方法和通道间干扰等问题的处理。

TH511标配2个通道,两个通道可以独立配置测试参数,也可以同步触发并行测量。多芯模组测试时,两个通道分别接模组内的两颗芯片,一次触发同时完成两路测量。

TH510 系列2.jpg

一、通道参数独立配置

TH511的两个通道参数分别存储在独立的程序文件中。通道1设置测试频率1MHz、VGS=0V、VDS=100V;通道2可以设置完全不同的参数。切换模组型号时,调用对应的程序文件,两个通道的参数同时加载。

配置步骤:进入通道设置菜单,选择通道1或通道2,分别设置测试频率、VGS、VDS和测量参数。设置完成后保存为程序文件。


二、并行测试与同步触发

两个通道配置完成后,选择并行测试模式。仪器按设定的触发方式同时启动两个通道的测量,测量结果同屏显示。触发方式支持内部触发、外部触发和HANDLER触发。


三、列表扫描在多芯模组中的应用

列表扫描模式最多支持50个扫描点,每个点可单独设置频率、Vg、Vd和分选上下限。在多芯模组测试中,如果模组内各芯的测试条件不同,可以用列表扫描逐芯设置不同的Vg/Vd组合,仪器按列表顺序依次测量。


四、常见故障排查表

现象

可能原因

处理方法

通道2无读数

通道未启用或参数未配置

检查通道启用状态和程序文件

两通道读数差异大

通道间未做一致性校准

用同一标准件验证两通道,执行通道一致性校准

并行测试时相互干扰

测试夹具屏蔽不足

检查夹具接地和屏蔽,缩短测试线缆

列表扫描某点无数据

该点Vg或Vd设置超出范围

检查扫描点参数是否在量程内

Crss读数在高频下为负值

高频寄生参数影响

确认CrssPlus功能已开启

通信命令无响应

接口参数错误

检查RS232/USB/LAN连接和SCPI配置


五、维护要点

测试夹具定期清洁触点。两个通道的测试线缆分开走线,避免交叉干扰。校准数据定期备份。按年安排LCR模块的计量校准。

操作或故障问题没解决?请联系深圳银飞电子的工作人员吧。


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