TH510系列半导体C-V特性分析仪是同惠电子推出的一款针对半导体材料及器件生产与研发的分析仪器。它采用双CPU架构和Linux底层系统，配备10.1英寸电容式触摸屏，支持中英文操作界面。该分析仪测试频率范围为10kHz-2MHz，VGS电压可达±40V，适用于二极管、三极管、MOS管及IGBT等半导体件的CV特性测试分析。其可四寄生参数同屏显示，且支持最多6个通道测试，大大提高了测试效率和准确性。

一、主要特点

1、先进的技术架构

* 采用双CPU架构，确保高速数据处理能力。

* 配备Linux底层系统，提供稳定且高效的操作环境。

2、高分辨率触摸屏

* 10.1英寸电容式触摸屏，分辨率为1280x800，支持中英文操作界面。

* 触摸屏界面友好，操作便捷，支持多种输入方式（如键盘、鼠标）。

3、多通道测试能力

* 标配2通道测试，通道可扩展至6通道，满足多种测试需求。

* 可同时测试两个器件或双芯片器件，通道参数可单独保存。

4、丰富的测试功能

* 提供点测、列表扫描、图形扫描（选件）三种测试方式。

* 可快速测量并显示四个寄生参数（Ciss、Coss、Crss、Rg）。

* 支持C-V特性曲线分析，可对数、线性两种方式实现曲线扫描。

5、高精度测试

* 测试频率为10kHz\~2MHz，VGS电压可达±40V，VDS电压可选0\~200V、0\~1500V、0\~3000V。

* 提供高偏置电压，确保测试结果的准确性。

6、自动化与集成测试

* 配备快速充电技术，缩短电容充电时间，实现快速测试。

* 自动延时设置，方便用户进行自动化测试。

* 提供HANDLER接口，支持自动化集成测试。

7、开放性与可扩展性

* 所有接口、指令集均为开放设计，支持客户自行编程集成或功能定制。

* 可通过固件升级来更新仪器功能、解决BUG等，无需返厂。

二、应用领域

1、半导体元件/功率元件

* 用于二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光电子芯片等寄生电容测试及C-V特性分析。

2、半导体材料

* 用于晶圆等半导体材料的C-V特性分析。

3、液晶材料

* 用于液晶材料的弹性常数分析。

三、型号与参数

TH510系列半导体C-V特性分析仪包括多个型号，如同惠TH511、TH512、TH513等。具体参数可能因型号而异，但通常包括测试频率、测试电平、VGS/VDS电压范围、准确度、分辨率等关键指标。

四、附加功能

1、10档分选：为客户产品质量分级提供了可能，分选结果直接输出至HANDLER接口。

2、Crss Plus技术：进一步提升测试效率及准确性。

3、高压击穿保护技术：确保测试过程的安全性。

五、总结

TH510系列半导体C-V特性分析仪凭借其先进的技术架构、高分辨率触摸屏、多通道测试能力、丰富的测试功能以及高精度测试等特点，在半导体材料及器件生产与研发领域具有广泛的应用前景。同时，其开放性与可扩展性也为用户提供了更多的自定义和升级选项。

文章来源变压器综合测试仪