TH511的测试频率覆盖至2MHz，高频段的校准与低频段不同。本文讲清高频LCR校准的标准器选择、校准项目和核验要点。

TH511的测试频率范围是1kHz～2MHz。送校时，校准机构需要覆盖这个频率范围，尤其是1MHz和2MHz这两个高频点。低频段的LCR校准规范通常只覆盖到10kHz或100kHz，高频段的校准需要不同的标准器和校准方法。

一、高频段校准的标准器

高频LCR校准使用的标准器与低频段不同。低频段常用标准电容箱和标准电阻箱。高频段需要使用高频标准电容、高频标准电感和高频标准电阻，这些标准器的寄生参数经过严格控制，在MHz频段下仍能保持准确的阻抗值。

校准机构需要具备覆盖2MHz频率的标准器。送校前与计量机构确认其校准能力范围。

二、校准项目

TH511的校准项目包括：测试频率准确度、电容示值误差、测试电平准确度、直流偏置示值误差。

测试频率准确度用频率计测量仪器输出的交流信号频率，按校准点核对。电容示值误差用高频标准电容在多个频率点下验证。测试电平准确度用高频功率计或高频电压表测量。直流偏置示值误差用数字多用表测量VGS和VDS的输出电压。

三、校准条件

高频段的校准对测试夹具和线缆的要求比低频段高。测试线缆的长度、阻抗匹配和屏蔽特性都会影响高频测量结果。校准机构通常会使用专用的高频测试夹具，并执行开路/短路补偿。

TH511支持开路OPEN、短路SHORT和负载LOAD校准。送校前建议先执行开路/短路校准，将仪器自身状态调到正常水平。

四、校准项目与核验要点

五、送校实操清单

一是送校前与计量机构确认校准方案覆盖1kHz～2MHz全频率范围。二是要求校准报告中各频率点的电容示值误差数据分项列出。三是确认校准机构使用的高频标准器在有效期内。四是保留校准证书，在产线品质管理或客户审核时引用。

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